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真空腔体加工检漏方法是真空检漏领域里不可或缺的一种技术,因检漏效率高,操作简单,仪器反应灵敏,精度高,不容易受到其他气体干扰,在真空腔体加工检漏中得到了很多应用.氦质谱检漏仪是根据质谱学原理,用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器. 由分析器、离子源、分析器、冷阴极电离规、收集器组成的质谱室和抽气系统及电气等部分组成.质谱室里的灯丝发射出来的电子,在室内来回地振荡,并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子,这些氦离子在加速电场作用下进入磁场,在洛伦兹力的作用下偏转,进而形成了圆弧形轨道,改变加速电压可使不同离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测到.其中呢,喷氦法和吸氦法是氦质谱检漏常用的两种方法. 复杂的真空腔体加工通常需要定制，即专门为应用终端设计和制作。一些常见的真空腔已经预先设计好了，如手套箱、焊接室、脱气箱、表面分析真空腔等。例如，脱气箱和手套箱一般采用低真空环境，可用于焊接，也可用于塑料制品、复合层压板、包装部件等的脱气。 真空腔体加工包括真空腔、真空密封传导、视口设置、真空传感器、真空显示、沉积系统、蒸发源和蒸发材料、飞溅目标、等离子蚀刻设备、离子注入设备、真空炉、真空泵、法兰、阀门和管件等多个部件。真空设备常用于脱气、焊接、薄膜涂层制备、半导体/晶圆生产、光学设备和特殊材料。
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