目前,现有的真空腔体设计形状多种多样,材料以不锈钢、铝合金、钛合金为主。铝合金重量轻、加工成本低,但由于其质地较软无法使用刀口密封方式,只能使用橡胶圈密封的方式;铝合金材质的真空腔体优点是拆装方便,不足之处是只能使用橡胶圈密封,密封方式单一,铝合金材质和橡胶圈都有很大的放气率,温度适应性差,无法使用熔融焊工艺,因此适用范围窄。钛合金重量轻但加工成本高,焊接难度大、焊接方式受限,无法用于方形真空腔体加工。不锈钢材料出气率低、机械性能好,并且熔融焊接性能好,加工成本低,在真空腔体设计中被广泛应用。
国内的真空腔体设计以圆筒形为主,内部器件无法垂直圆筒轴向安装,只能沿圆筒轴向安装,空间较为狭窄,装配不便。
真空热处理是真空技术与热处理技术相结合的新型热处理技术,真空热处理所处的真空环境指的是低于一个大气压的气氛环境,包括低真空、中等真空、高真空和超高真空,真空热处理实际也属于气氛控制热处理。
真空热处理是指热处理工艺的全部和部分在真空状态下进行的,真空热处理可以实现几乎所有的常规热处理所能涉及的热处理工艺,但热处理质量大大提高。与常规热处理相比,真空热处理的同时,可实现无氧化、无脱碳、无渗碳,可去掉工件表面的磷屑,并有脱脂除气等作用,从而达到表面光亮净化的效果。