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我们对于真空腔体的检漏办法了解多少呢？真空腔体加工厂就在这儿介绍下，真空腔体加工检漏主要有三种：氦质谱检漏，真空封泥检测法，真空计检漏法。下面就来详细的介绍下这三种办法。
一、氦质谱检漏
该检漏办法是真空检漏领域里不可或缺的一种技能，因检漏效率高，操作简略，仪器反应活络，精度高，不容易遭到其他气体搅扰，在真空检漏中得到了很多使用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。
由分析器、离子源、分析器、冷阴极电离规、收集器组成的质谱室和抽气系统及电气等部分组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振动，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互磕碰使其电离成正离子，这些氦离子在加快电场效果下进入磁场，在洛伦兹力的效果下偏转，进而形成了圆弧形轨道，改动加快电压可使不同离子通过磁场和接纳缝到达接纳极而被检测到。其间呢，喷氦法和吸氦法是氦质谱检漏常用的两种办法。
二、真空封泥检测法
用真空泥封住可疑的漏点，此刻要注意调查真空度的改变，如果贴上真空泥之后真空度上升较快，拿掉之后又有了显着的下降，这说明便是一个漏点哦。然而，这个办法在实践检测中用的比较少
三、真空计检漏法
部分真空计的读数与气体种类有关，例如电离真空计，热偶计。用适宜的气体或者液体做示漏物质，这些真空计就成了探测器，一般镀膜机上都会有真空计，在实践使用中也是比较常用的检漏办法。热偶计的示漏物质有二氧化碳，丁烷，酒精等，热偶计的反应比较慢，要仔细调查。用于电离计的示漏物质主要有氦，氩，酒精等。
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