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真空腔体加工中有哪些检漏方法？
1、氦质谱检漏
这种检漏方法是真空检漏领域不可缺少的技术。它具有检漏效率高、操作简单、仪器响应灵敏、精度高、不易受其他气体干扰等优点，在真空检漏中得到广泛应用。氦质谱检漏仪是一种基于质谱原理的气密性检测仪器，采用氦作为气体泄漏指示器。
它由分析器、离子源、分析器、收集器、抽气系统和电气部件组成。质谱室中灯丝发射的电子在室内来回振荡，与通过泄漏孔进入室内的室内气体和氦气碰撞，将它们电离成正离子。真空腔体加工这些氦离子在加速电场的作用下进入磁场，在洛伦兹力的作用下发生偏转，然后形成圆形轨道。通过磁场和接收槽改变加速电压到达接收，可以检测不同的离子。其中氦喷雾和氦吸收是氦质谱检漏常用的两种方法。
2.真空密封检测方法
用真空泥浆密封可疑泄漏。这时，真空腔体加工厂家注意观察真空度的变化。如果附真空泥后真空度迅速上升，去掉后明显下降，说明是泄漏。然而，这种方法在实际检测中很少使用。
3.真空计泄漏检测方法
一些真空计的读数与气体类型有关，如电离真空计和热电偶真空计。当适当的气体或液体被用作泄漏指示器时，这些真空计就变成了探测器。涂布机上一般都有真空计，这也是实际应用中常用的检漏方法。
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