常用的真空腔体除尘过滤办法及其过滤设备有哪些

　　  有些真空工艺会发作很多的尘土，假如尘土随被抽气体进入油封真空泵内混在泵油中，会像研磨剂一样加快泵腔内零件的磨损，对泵转子和泵腔构成磨损和破坏，堵塞油路或使泵无法作业，假如尘土进入真空阀门则会使密封失效而泄漏，因而尘土的规避和过滤己成为添加真空腔体的使用寿命，添加生产率的关键问题，在有尘土的腔体制造中，要选用尘土过滤器。

　　  在尘土量较少时，可以由泵油过滤体系滤除，但尘土量较大时，为不让真空泵损坏，让真空泵的正常作业要使用除尘器。常用精密腔体制造尘土过滤办法有以下几种：
　　（1）旋风离心式。进气口与筒体成偏心放置，尘土随气流旋转，因离心力效果而沉降在过滤器的底部。
　　（2）油淋式。在油泵的效果下，使真空泵油从除尘器的顶部高速喷下，油雾与上升的气流彼此效果吸附，混在气流中的尘土与油一同沉降至油池。
　　（3）油湿介质粘附式。尘土在气流效果下磕碰用真空泵油浸湿的介质外表而被粘附，常用介质有环状或颗粒状陶瓷、金属丝条等。
　　（4）介质阻挠式。使用介质的机械阻挠效果过滤尘土，常用介质有金属丝网、天然或合成纤维、多孔金属、多孔塑料等。
　　（5）静电吸附式。使用真空中气辉光放电构成等离子体，尘土在等离子体中附着电荷，在电场力效果下被驱向电极外表而被捕集。
　　（6）混合式。将以上几种过滤办法进行组合构成混合的过滤办法。
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